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首页> 外文会议>2012 42nd European Microwave Conference. >The multipole resonance probe: Investigation of an active plasma resonance probe using 3D-electromagnetic field simulations
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The multipole resonance probe: Investigation of an active plasma resonance probe using 3D-electromagnetic field simulations

机译：多极共振探头：使用3D电磁场模拟的有源等离子体共振探头的研究

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A novel industry compatible plasma probe for the simultaneous determination of the most important process parameters for supervision and control of technical plasmas is presented in this paper. 3D-electromagnetic field simulations are used for optimization of the so called multipole resonance probe. In addition, the influence of different parameters of a modelled plasma on the probe is investigated. Good agreements between simulations and measurements of a prototype in a double inductive coupled plasma confirm the observed behaviour within the simulated plasmas. This allows an efficient preliminary investigation of the probe.
机译：本文提出了一种新型的行业兼容的等离子探针，用于同时测定最重要的工艺参数，以监督和控制技术等离子。 3D电磁场模拟用于优化所谓的多极共振探头。另外，研究了模拟血浆的不同参数对探针的影响。在双感应耦合等离子体中模拟与原型测量之间的良好一致性确认了在模拟等离子体中观察到的行为。这允许对探针进行有效的初步研究。

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