Analysis of the development of smart sensors based on MEMS devices and smart sensor platform proposal

机译：基于MEMS器件的智能传感器发展分析与智能传感器平台方案。

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摘要

In this paper we present the state of the art in the development of smart sensors based on MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), where we will explain its evolution from the beginning until the latest generation of smart sensors, deepening in architecture and operational philosophy. It also presents an analysis of the future prospects of the new designs that could satisfy the demands of the current and future markets. We aim to provide an overview describing their development and the way in which it will increase the capabilities of many control and instrumentation systems, allowing you to convert a passive sensor into an smart sensor. We will consider the most important features that should have in the future to be used in the automotive industry, communications, military, medical, environmental and consumer electronics products. It is also proposed the development of a platform based on a microcontroller with an algorithm to estimate the reliability in real time of MEMS sensors.

机译：在本文中，我们介绍了基于MEMS（微机电系统）的智能传感器的发展现状，在此我们将解释其从最开始到最新一代智能传感器的发展，并深化架构和操作哲学。它还对可以满足当前和未来市场需求的新设计的未来前景进行了分析。我们旨在提供概述，说明其发展以及将如何提高许多控制和仪表系统的功能，从而使您将无源传感器转换为智能传感器。我们将考虑将来在汽车工业，通信，军事，医疗，环境和消费电子产品中应使用的最重要的功能。还提出了基于微控制器的平台的开发，该平台具有用于实时估计MEMS传感器的可靠性的算法。

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来源
《2016 IEEE International Engineering Summit, II Cumbre Internacional de las Ingenierias》|2016年|1-6|共6页
会议地点 Boca del Rio(MX)
作者
Ra��l L��pez Leal; Jaime Mart��nez Castillo; Andrea G. Mart��nez L��pez; Agust��n Leobardo Herrera May;
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作者单位

Universidad Veracruzana, Doctorado en Ingenier��a, Facultad de Ingenier��a Mec��nica y El��ctrica, Xalapa, M��xico;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
MEMS; Reliability; microcontroller; smart sensor;

机译：MEMS;可靠性;微控制器;智能传感器;

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