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首页> 外文会议>2016 International Conference on Electrical Power and Energy Systems >Deflection and stresses of effective micro-cantilever beam designs under low mass loading
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Deflection and stresses of effective micro-cantilever beam designs under low mass loading

机译：低质量载荷下有效微悬臂梁设计的挠度和应力

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Cantilever sensitivity under low mass loading is crucial issue for various sensing applications. Recent advancements promise and focus on the development of high performance cantilevers for effective low mass sensing. MEMS cantilevers are commonly used for low level bio-molecular detection due to their most flexible hinging type structure. The micro-cantilever design used for bio-sensing can also be used for RF switching under the actuation potential. For low mass loading rectangular cantilever does not offer better deflection due to its uniform volume. Also in RF switching application these beams take large actuation voltage for switching. This paper study five different micro-cantilever beam designs. Some proposed designs exhibit better deflection for low mass loading. Hence these designs can be used for low level sensing application.
机译：低质量负载下的悬臂灵敏度对于各种传感应用而言都是至关重要的问题。最近的进步有望并集中在高性能悬臂梁的开发上，以实现有效的低质量感测。 MEMS悬臂梁由于其最灵活的铰接型结构而通常用于低水平生物分子检测。用于生物传感的微悬臂梁设计也可以在致动电势下用于RF切换。对于低质量载荷，矩形悬臂由于其均匀的体积而无法提供更好的挠度。同样在射频开关应用中，这些光束需要很大的驱动电压来进行开关。本文研究了五种不同的微悬臂梁设计。一些建议的设计对于低质量载荷表现出更好的挠度。因此，这些设计可用于低电平感测应用。

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