Hiroshima City University, Hiroshima, Japan;
Hiroshima City University, Hiroshima, Japan;
Hiroshima City University, Hiroshima, Japan;
Nagoya University, Aichi, Japan;
Nagoya University, Aichi, Japan;
Hiroshima City University, Hiroshima, Japan;
Substrates; Wiring; Electron tubes; Micromechanical devices; Polyimides; Fabrication; Temperature sensors;
机译:MEMS热流量传感器的单片集成及其驱动电路在聚酰亚胺膜上柔性Cu
机译:在聚酰亚胺基板上的铜上形成的微机械流量传感器及其在呼吸测量中的应用
机译:在聚酰亚胺衬底上形成的微机械流量传感器,并在呼吸测量中的应用
机译:将MEMS流量传感器,电线和管结构集成到聚酰亚胺基板上的铜上
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:聚酰亚胺/ SU-8导管尖端MEMS压力计传感器
机译:具有倒装芯片附件和电气测试结构的柔性聚酰亚胺基板的可靠性研究
机译:聚酰亚胺/玻璃多层印刷线路板内的铜箔附着力:最终报告