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首页> 外文会议>2nd EOS conference on manufacturing of optical components 2011 >Correction of Sub-Millimeter Spatial Wavelength Polishing Errors by Atmospheric Plasma Jet Machining
【24h】

Correction of Sub-Millimeter Spatial Wavelength Polishing Errors by Atmospheric Plasma Jet Machining

机译：大气等离子射流加工对亚毫米空间波长抛光误差的校正

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摘要

Fine-focused atmospheric plasma jet machining (APJM) has been investigated for mid spatial frequency correction of optical surfaces (made of materials such as fused silica, Zerodur or ULE®). Plasma tool characteristic (etching rate, half width, ...) and process parameters (gas flow, scanning speed, ...) are presented in detail for two microwave (2.45 GHz) powered Ar/He plasma systems with CF_4 as reactive process gas component.
机译：对于光学表面（由熔融石英，Zerodur或ULE®等材料制成）的光学空间的中空频率校正，已经进行了精细聚焦的大气等离子体射流加工（APJM）的研究。详细介绍了两个以CF_4作为反应过程的微波（2.45 GHz）供电的Ar / He等离子体系统的等离子工具特性（蚀刻速率，半宽度等）和工艺参数（气体流量，扫描速度等）。气体成分。

著录项

  • 来源
  • 会议地点 Munich(DE);Munich(DE)
  • 作者

    Hendrik Paetzelt; G. Boehrn; Th. Arnold; M. Weiser; N. Kaier; A. Schindler;

  • 作者单位

    Leibniz-Institut fuer Oberflaechenmodifizierung e.V., Permoserstr. 15, D-04318 Leipzig;

    Leibniz-Institut fuer Oberflaechenmodifizierung e.V., Permoserstr. 15, D-04318 Leipzig;

    Leibniz-Institut fuer Oberflaechenmodifizierung e.V., Permoserstr. 15, D-04318 Leipzig;

    Carl Zeiss SMT GmbH, Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 D-Oberkochen;

    Carl Zeiss Jena GmbH, Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 D-Oberkochen;

    Leibniz-Institut fuer Oberflaechenmodifizierung e.V., Permoserstr. 15, D-04318 Leipzig;

  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 光学仪器;
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