Vector Transducer for Precision Offset and Tilt Monitoring Suitable to Levitated Objects

机译：矢量传感器，适用于悬浮物体的精确偏移和倾斜监控

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A precision complex capacitive transducer of axis displacement and tilt in floating cylindrical objects has been developed. Movements in the four degrees of freedom are detected by two vector-eccentricity transducers operated at two frequencies (around 17 kHz and 19 kHz) and acting at different cross sections. The resolution of 1 nm allows sharp-defined plotting of 2-axis oscillations in the submicrometer range.

机译：已经开发出一种精密复杂的电容式传感器，其在浮动圆柱形物体中具有轴位移和倾斜度。通过两个在两个频率（大约17 kHz和19 kHz）下工作并作用于不同横截面的矢量偏心率传感器，可以检测到四个自由度的运动。 1 nm的分辨率允许在亚微米范围内清晰定义2轴振荡的图。

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来源
《2nd International EUSPEN Conference on Precision Engineering Nanotechnology Vol.1, May 27th-31st, 2001, Turin, Italy》|2001年|p.522-525|共4页
会议地点 Turin(IT)
作者
F. Cabiati; V. DElia; D. Serazio;
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作者单位

IENGF, Torino, Italy;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类机械、仪表工业;
关键词

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