• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>2nd International EUSPEN Conference on Precision Engineering Nanotechnology Vol.1, May 27th-31st, 2001, Turin, Italy >Treaceable step height and roughness measurements with atomic force microscopes
【24h】

Treaceable step height and roughness measurements with atomic force microscopes

机译：使用原子力显微镜进行可追踪的台阶高度和粗糙度测量

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

In this paper we describe a method for vertical calibration of a scanning force microscope, equipped with capacitive distance sensors, based on transfer standards. If z is the observed height and Δz_(max) is the maximal height in the image an expanded uncertainty of U_z = 2 nm + 0.02*Δz_(max) (confidence of 95%) can be achieved with the calibrated microscope. The vertical calibration is a subdivision of the z-scale based on three step height standards in the range from 13 nm to 800 nm, calibrated by optical interferometry. Using this calibration we have measured the roughness of one important applied surface (a joint prothesis), which is not easily assessed by classical methods, and found the roughness parameter, S_q, to be consistent with measurements by interference microscopy.
机译：在本文中，我们描述了一种基于转移标准的垂直校准力显微镜的方法，该显微镜配有电容式距离传感器。如果z是观察到的高度，而Δz_（max）是图像中的最大高度，则使用校准显微镜可以实现U_z = 2 nm + 0.02 *Δz_（max）的扩展不确定度（置信度95％）。垂直校准是对z标尺的细分，该标尺基于从13 nm到800 nm范围内的三个台阶高度标准，通过光学干涉仪进行了校准。通过这种校准，我们测量了一个重要的应用表面（关节假体）的粗糙度，这是经典方法无法轻易评估的，并且发现粗糙度参数S_q与干涉显微镜的测量结果一致。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号