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首页> 外文会议>2nd Italian Conference on Sensors and Microsystems Artificial and Natural Perception Rome, Italy 3-5 February 1997 >Structural Characterizationof Innovative Materials for Gas-Sensing Applications
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Structural Characterizationof Innovative Materials for Gas-Sensing Applications

机译：用于气体传感应用的创新材料的结构表征

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Structural investigation of the structural features of either W-Ti-O or Mo-O based thin films is carried out by means of electron microscopy and X-Rays diffraction techniques. The study of the microstructural properties of these materials is aimed at correlating these features to the sensor's electrical response in order to optimize preparation of the films for gas sensing applications. The effect of thermal threatment over deposited W-Ti-O films together with investigation over the structural stability of MoO_3 layers is discussed.
机译：通过电子显微镜和X射线衍射技术对W-Ti-O或Mo-O基薄膜的结构特征进行结构研究。对这些材料的微结构特性的研究旨在将这些特征与传感器的电响应相关联，以优化用于气体传感应用的薄膜制备。讨论了热威胁对沉积的W-Ti-O薄膜的影响以及对MoO_3层结构稳定性的研究。

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