Atmospheric Plasma Jet Treatment of Optical Surfaces

机译：大气等离子射流光学表面处理

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Different atmospheric plasma jet tools are ready to use for the treatment of optical surfaces. Besides high rate figuring for aspherisation or free form generation as well as figure error correction with nanometre accuracy some new processes like plasma jet polishing and sacrificial plasma jet oxidation are available now.

机译：准备使用各种大气等离子喷射工具来处理光学表面。除了用于球化或自由形式生成的高速率图形化以及具有纳米精度的图形误差校正之外，现在还可以使用等离子流抛光和牺牲性等离子流氧化等新工艺。

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来源
《3rd EOS conference on manufacturing of optical components 2013》|2013年|3-4|共2页
会议地点 Munich(DE)
作者
T. Arnold; G. Boehm; H. Paetzelt;
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作者单位

Leibniz-lnstitut fuer Oberflaechenmodifizierung, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, Germany;

Leibniz-lnstitut fuer Oberflaechenmodifizierung, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, Germany;

Leibniz-lnstitut fuer Oberflaechenmodifizierung, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, Germany;

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