首页> 外文会议>2019年第66回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 >周波数変調走査型容量原子間力顕微鏡(FM-SCFM)による有機薄膜トランジスタのキャリアダイナミクス評価
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周波数変調走査型容量原子間力顕微鏡(FM-SCFM)による有機薄膜トランジスタのキャリアダイナミクス評価

机译:调频扫描电容原子力显微镜(FM-SCFM)评估有机薄膜晶体管的载流子动力学

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摘要

近年、柔軟性や作製の容易さなどの観点から、有機薄膜トランジスタ (OTFT) に注目が集まっている。OTFTの電気特性は、金属電極–有機界面におけるキャリア注入障壁やキャリアトラップにより制限されることが多く、真の律速原因を明らかにするためには電極界面やチャネル内におけるキャリア分布およびその動的挙動の評価が必要となる。前回の講演では、OTFTのチャネル領域を対象に、ケルビンプローブ原子間力顕微鏡(KFM)による表面電位像と、静電気力検出に基づいた容量顕微鏡である走査型容量原子間力顕微鏡 (Scanning Capacitance Force Microscopy:SCFM)による微分容量像(dC/dV)を同時取得し、チャネル内の表面電位とdC/dV信号のゲート電圧依存性について議論した。通常の振幅検出(AM)法による SCFM は信号の応答時間がカンチレバーの Q 値に比例して長くなるため、比較的高い時間分解能が期待されるFM-SCFMにより、OTFTのゲートにパルスを入力した際の応答を観察し、キャリア挙動の時間分解評価を試みたので報告する。
机译:近年来,在柔性和容易制造方面已经关注有机薄膜晶体管(OTFT)。 OTFT的电性能通常受到金属电极-有机界面处的载流子注入势垒和载流子陷阱的限制,以阐明决定速率的真正原因,载流子分布及其在电极界面和沟道处的动态行为。将需要进行评估。在上一讲中,我们使用开尔文探针原子力显微镜(KFM)表面电势图像和扫描电容原子力显微镜(扫描电容力显微镜)(基于静电力检测的电容显微镜)专注于OTFT的沟道区域。 :SCFM)同时获取差分电容图像(dC / dV),并讨论了沟道中的表面电势和dC / dV信号的栅极电压依赖性。在使用正常幅度检测(AM)方法的SCFM中,信号响应时间与悬臂的Q值成比例地增加,因此使用FM-SCFM将脉冲输入到OTFT门,这有望获得相对较高的时间分辨率。在本文中,我们报告了观察时的响应,并尝试了时间分辨的载体行为评估。

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