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δn/δT measurements of sol-gel ZrO_2 thin films

机译：溶胶-凝胶ZrO_2薄膜的δn/δT测量

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Sol-gel ZrO_2 thin films deposited by dip-coating on various substrates are characterized. The film thickness, the refractive index and the thermo-optic coefficient (δn/δT) are measured using the prism coupler technique. The thickness of the uniform and good quality sol-gel films ranges between 100nm and 130nm, while the refractive index ranges between 1.9 and 2.1 at 25℃, depending on the substrate material and surface quality, and depending on some process parameters. The δn/δT measurements of the sol-gel ZrO_2 thin films deposited on several substrates show that the TM refractive index always exhibits much higher dependence with respect to temperature than the TE refractive index. Such variations had not previously been reported and will require much attention and future study due to the importance of δn/δT for advanced optical telecommunications devices.
机译：表征了通过浸涂沉积在各种基材上的溶胶-凝胶ZrO_2薄膜。使用棱镜耦合器技术测量膜厚度，折射率和热光系数（δn/δT）。均匀且高质量的溶胶-凝胶膜的厚度范围为100nm至130nm，而25℃下的折射率范围为1.9至2.1，这取决于基材的材料和表面质量以及某些工艺参数。沉积在几个基板上的溶胶-凝胶ZrO_2薄膜的δn/δT测量结果表明，TM折射率相对于温度的依赖性始终比TE折射率高得多。由于δn/δT对于高级光通信设备的重要性，这种变化以前尚未被报道过，将需要引起很大的关注和未来的研究。

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