MODELING AND CHARACTERIZATION OF NANOWIRES WITH MICROCANTILEVER BEAMS

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• 来源
  《AMD-vol.257; American Society of Mechanical Engineers(ASME) International Mechanical Engineering Congress and Exposition; 20061105-10; Chicago,IL(US)》|2006年|P.35-40|共6页
• 会议地点 ChicagoIL(US)
• 作者

  J.He; C. M. Lilley;

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• 作者单位

  Department of Mechanical and Industrial Engineering University of Illinois at Chicago Chicago, Illinois 60607;

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• 会议组织
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 机械零件及传动装置;
• 关键词

  E_1: young's modulus of the microcantilever; E_2: young's modulus of the nanowire; h: initial electric gap/anchor height; L: microcantilever length; t_1: microcantilever/anchor thickness; t_2: nanowire thickness; V: voltage; V_(PI): pull-in voltage; w_1:;

  机译：E_1：微悬臂梁的杨氏模量； E_2：纳米线的杨氏模量； h：初始电间隙/锚固高度； L：微悬臂梁长度； t_1：微悬臂梁/锚固厚度； t_2：纳米线厚度； V：电压； V_（PI） ：引入电压; w_1：;