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Comparison of Three Spindle Error Motion Separation Techniques

机译:三种主轴误差运动分离技术的比较

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摘要

This work demonstrates the state of the art capabilities of three error separation techniques for nanometer-level measurement of precision spindles and rotationally-symmetric artifacts. Donaldson reversal is compared to a multi-probe and a multi-step technique using a series of measurements carried out on a precision aerostatic spindle with a lapped spherical artifact. The results indicate that sub-nanometer features in both spindle error motion and artifact form are reliably resolved by all three techniques.
机译:这项工作演示了三种误差分离技术在精密主轴和旋转对称工件的纳米级测量方面的先进水平。使用在带有重叠球状伪影的精密空气静力主轴上执行的一系列测量,将唐纳森反转与多探针和多步技术进行了比较。结果表明,所有三种技术均能可靠地解决主轴误差运动和伪影形式的亚纳米特征。

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