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首页> 外文会议>33rd ASPE annual meeting 2018 >SURFACE METROLOGY USING EXTENDED-RANGE PARTITIONED APERTURE WAVEFRONT SENSING
【24h】

SURFACE METROLOGY USING EXTENDED-RANGE PARTITIONED APERTURE WAVEFRONT SENSING

机译：使用扩展范围划分的孔径波前感测的表面计量学

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摘要

PAW sensing represents a cost-effective approach for high-frame rate surface metrology which can scale to a wide range of object dimensions. This work represents the first demonstration of nonlinear processing to extend the angle range of the PAW sensing approach. The measurable tilts in the principle directions increases from 0.5 to 1.5 times the collection NA of the system. Simultaneously it is shown that, with appropriate optics, PAW techniques can extend beyond the initial demonstrations in microscopy to macro-scale objects.
机译：PAW传感代表了一种高性价比的方法，可用于高帧率表面计​​量，可以扩展到各种物体尺寸。这项工作代表了非线性处理扩展PAW感应方法的角度范围的首次演示。在主方向上可测量的倾斜度从系统收集值的0.5倍增加到1.5倍。同时表明，使用适当的光学器件，PAW技术可以扩展到从显微术的最初演示范围扩展到宏观目标。

著录项

  • 来源
    《33rd ASPE annual meeting 2018》|2018年|462-465|共4页
  • 会议地点 Las Vegas(US)
  • 作者

    Devin R. Beaulieu; Thomas G. Bifano;

  • 作者单位

    Department of Electrical and Computer Engineering Boston University Boston, MA;

    Photonics Center Boston University Boston, MA;

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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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