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首页> 外文会议>Biomedical Circuits and Systems Conference, 2009. BioCAS 2009 >An optoelectronic/microfluidic inclination sensor for vestibular implants
【24h】

An optoelectronic/microfluidic inclination sensor for vestibular implants

机译：用于前庭植入物的光电/微流体倾斜传感器

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We present a MEMS device fabricated in the SensoNor MultiMEMS process to replicate the tilt sensing function of the human vestibular system. Our device uses opaque fluid movement within a cavity to govern the amount of light that reaches strategically placed photosensing regions. In addition to the device we have included various structures so that we can determine the performance of various photodiode structures. The photodiodes were tested both to obtain their intrinsic current-voltage relationship without optical illumination and for their photo-sensitive characteristics by providing varying levels of optical excitation. The forward bias turn-on voltage was approximately 700 mV and varied across different device doping.
机译：我们介绍了以SensoNor MultiMEMS工艺制造的MEMS设备，以复制人体前庭系统的倾斜感应功能。我们的设备使用空腔内的不透明流体运动来控制到达战略性放置的光敏区域的光量。除了该器件外，我们还包括各种结构，以便我们可以确定各种光电二极管结构的性能。通过提供不同水平的光激发，对光电二极管进行测试，以获得无光照射下的固有电流-电压关系，以及光敏特性。正向偏置导通电压约为700 mV，并随不同的器件掺杂而变化。

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