LEEPL Data Conversion System

机译：LEEPL数据转换系统

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PATACON-LEEPL is a software product for converting semiconductor mask CAD data to the EB data of masks for LEEPL transcribing devices. This software has several functions, such as pattern placement function corresponding to the structure of the LEEPL mask, which is different from the mask for optical steppers, complementary division function for stencil masks, correction of distortion due to mask internal stress, and alignment mark insertion. This software operates in the environment in which several to some hundreds of Linux PC's are connected by a high-speed network.

机译：PATACON-LEEPL是一种软件产品，用于将半导体掩模CAD数据转换为LEEPL转录设备的掩模的EB数据。该软件具有多种功能，例如与LEEPL掩模的结构相对应的图案放置功能（不同于光学步进器的掩模），模版掩模的互补分割功能，由于掩模内部应力导致的变形校正以及对准标记插入。该软件在通过高速网络连接数至数百个Linux PC的环境中运行。

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来源
《Conference on Emerging Lithographic Technologies VIII pt.2; 20040224-20040226; Santa Clara,CA; US》|2004年|P.1034-1042|共9页
会议地点 Santa Clara CA(US)
作者
Masahiro Shoji; Nobuyasu Horiuchi;
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作者单位

Nippon Control System Corp., 2-7-9 Shinyokohama Kouhoku-ku Yokohama-shi Kanagawa-ken, 222-0033, Japan;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类半导体技术;
关键词
NGL; LEEPL; COSMOS; data conversion;

机译：NGL; LEEPL; COSMOS;数据转换;

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