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首页> 外文会议>Conference on Lightguides and their Applications II; 20031009-20031011; Krasnobrod; PL >Conventional and fiber optics interferometry for vibration mode analysis
【24h】

Conventional and fiber optics interferometry for vibration mode analysis

机译：常规干涉仪和光纤干涉仪用于振动模式分析

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The visualization and analysis methods for studying vibration modes of macro and micro scale objects with spectrally reflecting and scattering surfaces, developed at the Institute of Micromechanics and Photonics of the Warsaw University of Technology, are presented. Silicon technology prepared microspecimens (AFM cantilevers and active PZT micromembranes) are investigated using two-beam time-average interferometry. Vibration modes of flat and non-flat surface microelements are displayed using four and five-frame temporal phase stepping methods. The calculated contrast of vibrating object interferograms provides the information on the vibration amplitude. Scattering surface objects are studied by time-average fiber-optics digital speckle pattern interferometry (DSPI) with heterodyning. Sinusoidal phase modulation introduced at the object vibration frequency enables quantitative analysis of the amplitude and phase of sinusoidal type vibrations. Laser diode modulation and/or single mode fiber stretching is applied for that purpose. For low vibration amplitudes (a_0 < λ/20) the method using linear approximation of the zero order Bessel function provides an automatic analysis tool for quantitative estimation of the vibration modes.
机译：提出了由华沙理工大学微机械和光子学研究所开发的可视化和分析方法，用于研究具有光谱反射和散射表面的宏观和微观物体的振动模式。使用两束时间平均干涉仪研究了用硅技术制备的微样品（AFM悬臂和有源PZT微膜）。使用四帧和五帧时间相位步进方法显示平面和非平面微元素的振动模式。振动物体干涉图的计算对比度可提供有关振动幅度的信息。散射表面物体的研究采用时差平均光学数字散斑干涉法（DSPI）。以物体振动频率引入正弦相位调制，可以对正弦型振动的幅度和相位进行定量分析。为此目的采用激光二极管调制和/或单模光纤拉伸。对于低振幅（a_0 <λ/ 20），使用零阶贝塞尔函数线性逼近的方法提供了一种自动分析工具，用于定量估算振动模式。

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