A miniaturized SNOM sensor based on the optical feedback inside the VCSEL cavity

机译：基于VCSEL腔内部的光反馈的微型SNOM传感器

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We propose and demonstrate an original concept of a near-field sensor using the optical feedback properties of a vertical-cavity surface-emitting laser as an active principle of detection. This is based on the monitoring perturbations induced in the laser cavity by the backscattered light coming from the specimen. Test images confirm the efficiency of proposed SNOM microscope and a solution for the integration of proposed architecture is given.

机译：我们提出并证明了使用垂直腔面发射激光器的光反馈特性作为检测的主动原理的近场传感器的原始概念。这是基于对来自样本的反向散射光在激光腔中引起的监视摄动的基础。测试图像证实了所提出的SNOM显微镜的效率，并给出了所提出的体系结构集成的解决方案。

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来源
《Conference on Optical Micro- and Nanometrology in Manufacturing Technology; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》|2004年|P.183-187|共5页
会议地点 Strasbourg(FR)
作者
Christophe Gorecki; Dominique Heinis;
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作者单位

Departement LOPMD, FEMTO-ST (UMR CNRS 6174) Universite de Franche-Comte, 16 Route de Gray 25030 Besancon Cedex, France;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类机械计算;
关键词
scanning near field optical microscopy; vertical cavity surface emitted laser; nanosensing; silicon micromachining;

机译：扫描近场光学显微镜；垂直腔表面发射激光；纳米传感；硅微加工;

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