EPL Data Conversion System EPLON

机译：EPL数据转换系统EPLON

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We have developed the EPL mask data conversion system EPLON. It provides comprehensive capabilities necessary for the data conversion of EPL masks. This paper presents the features of each function and the evaluation result of data conversion with actual data on a full chip level. The result shows that the whole data conversion is possible within reasonable time for huge data. We also propose a new format for describing EPL mask data to deal with the huge size of EPL mask data after conversion. The format is called the EPLM format and it contains one main file and multiple subfield files.

机译：我们已经开发了EPL掩模数据转换系统EPLON。它提供了EPL掩码数据转换所必需的全面功能。本文在全芯片级别上介绍了每个功能的特性以及对带有实际数据的数据转换的评估结果。结果表明，在合理的时间内可以对海量数据进行整个数据转换。我们还提出了一种用于描述EPL掩码数据的新格式，以处理转换后的EPL掩码数据的巨大规模。该格式称为EPLM格式，它包含一个主文件和多个子字段文件。

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来源
《Conference on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology IX, Apr 23-25, 2002, Yokohama, Japan》|2002年|p.805-815|共11页
会议地点 Yokohama(JP)
作者
Kokoro Kato; Kuninori Nishizawa; Tamae Haruki; Tadao Inoue;
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作者单位

EDA Systems Development Department, Seiko Instruments Inc. 8, Nakase 1-Chome, Mihamaku, Chiba-shi, Chiba 261-8507, Japan;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

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EPL Data Conversion System EPLON

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