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首页> 外文会议>Conference on Photon Processing in Microelectronics and Photonics III; 20040126-20040129; San Jose,CA; US >Real-time precision displacement measurement interferometer using the robust discrete time Kalman filter
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Real-time precision displacement measurement interferometer using the robust discrete time Kalman filter

机译：使用鲁棒离散时间卡尔曼滤波器的实时精密位移测量干涉仪

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This paper proposes a robust discrete time Kalman filter (RDKF) for the dynamic compensation of nonlinearity in a homodyne laser interferometer for high-precision displacement measurement and in real-time. The interferometer system is modeled to reduce the calculation of the estimator. A regulator is applied to improve the robustness of the system. An estimator based on dynamic modeling and a zero regulator of the system was designed by the authors of this study. For real measurement, the experimental results show that the proposed interferometer system can be applied to high precision displacement measurement in real-time.
机译：本文提出了一种鲁棒的离散时间卡尔曼滤波器（RDKF），用于动态补偿零差激光干涉仪中的非线性，并进行实时位移测量。对干涉仪系统进行建模以减少估算器的计算。应用调节器来提高系统的鲁棒性。本研究的作者设计了基于动态建模和系统零调节器的估计器。对于实际测量，实验结果表明，所提出的干涉仪系统可以实时应用于高精度位移测量。

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