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首页> 外文会议>Conference on X-Ray Mirrors, Crystals, and Multilayers Jul 30-31, 2001, San Diego, USA >Evaluation of Crystal Lattice Imperfections using Reflection X-ray Microscope
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Evaluation of Crystal Lattice Imperfections using Reflection X-ray Microscope

机译：用反射X射线显微镜评估晶格缺陷

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A novel experimental method is presented for evaluating the crystal lattice imperfections using a reflection X-ray microscope (RXM). An X-ray microscope using an X-ray refractive lens is constructed on the reflected beam axis of the crystal. The surface of the bulk samples can be observed and analyzed with this method with sub-micrometer resolution. This method has a unique advantage that the image contrast due to the integral reflectivity variation and due to the phase-contrast of the crystal surface are easily discriminated by de-focusing technique. The sample crystals chosen were silicon circular Bragg Fresnel zone plates (BFZPs). The BFZPs had circular zones on Si(l 11) plane with two different groove depths of 3.9 μm. and 5.9μm The validity of the de-focusing method was proved and a clear difference of the X-ray microscope images was observed for the BFZPs with different groove depth.
机译：提出了一种新颖的实验方法，用于使用反射X射线显微镜（RXM）评估晶格缺陷。在晶体的反射光束轴上构造使用X射线折射透镜的X射线显微镜。可以用亚微米分辨率的方法观察和分析大块样品的表面。该方法具有独特的优点，即通过散焦技术可以容易地区分由于积分反射率变化和晶体表面相位对比引起的图像对比度。选择的样品晶体是硅圆形布拉格菲涅耳波带片（BFZP）。 BFZP在Si（11）平面上具有圆形区域，两个不同的沟槽深度为3.9μm。并证明了5.9μm的散焦方法的有效性，并且观察了不同凹槽深度的BFZP的X射线显微镜图像的明显差异。

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