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首页> 外文会议>EuSPEN(European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) International Conference; 20040531-0602; Glasgow(GB) >Metrology for Microsystems - Characterisation of a new broadband interferometer
【24h】

Metrology for Microsystems - Characterisation of a new broadband interferometer

机译：微系统计量学-新型宽带干涉仪的特性

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Many existing metrology techniques are being applied to the measurement of microsystems. This area of metrology has many new challenges and for this reason it is necessary to have a greater understanding of the real capability of the metrology tool being used. Taylor Hobson has for many years been involved in the development of new metrology techniques and so when developing our latest technology, namely Coherence Correlation Interferometry, we saw the characterisation of this instrument as an important step in bringing the product to market. This paper describes the process of characterising this broadband interferometer by an independent body, NPL, including tests performed and presents some preliminary results.
机译：许多现有的计量技术正在应用于微系统的测量。该计量领域面临许多新挑战，因此，有必要对所使用的计量工具的实际功能有更深入的了解。泰勒·霍布森（Taylor Hobson）多年来一直从事新计量技术的开发，因此在开发我们的最新技术（相干相关干涉测量法）时，我们认为该仪器的表征是将产品推向市场的重要一步。本文介绍了由独立机构NPL表征宽带干涉仪的过程，包括进行的测试并给出了一些初步结果。

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