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首页> 外文会议>Fifth Asia International Symposium on Mechatronics >A parallel MEMS guide mechanism with beam-based motion amplifier
【24h】

A parallel MEMS guide mechanism with beam-based motion amplifier

机译：具有基于波束的运动放大器的并行MEMS引导机构

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摘要

This paper studies a novel parallel kinematic XY mechanism design. The MEMS XY mechanism usually constrained by the limits of fabrication, material property and actuator, is hard to get a large work space. This XY mechanism design is featured for high precision, large stroke and compact size. Based on the kinematic model of the displacement amplifier, the Pseudo Rigid Body Model (PRBM) of the guide mechanism, and the fabrication limitation, the optimization of the geometry is studied. Furthermore, Finite Element (FE) models are built for analyzing the displacement amplifier and the whole XY mechanism. The XY mechanism is very compact, and the size is only 5 mm × 5 mm. However, it can produce a 150 μm × 150 μm stroke. Compared with other designs, the XY mechanism has a quite large work space with a compact size.
机译：本文研究了一种新颖的并联运动XY机构设计。 MEMS XY机构通常受制于制造，材料特性和致动器的限制，很难获得较大的工作空间。 XY机构设计具有高精度，大行程和紧凑尺寸的特点。基于位移放大器的运动学模型，导向机构的伪刚体模型（PRBM），以及制造上的限制，研究了几何形状的优化。此外，建立了有限元（FE）模型来分析位移放大器和整个XY机构。 XY机构非常紧凑，尺寸仅为5 mm×5 mm。但是，它可以产生150μm×150μm的行程。与其他设计相比，XY机构具有很大的工作空间和紧凑的尺寸。

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