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【24h】

CARBON NANOTUBES BY Low TEMPERATURE THERMAL CVD PROCESS FOR FED APPLICATIONS

机译：美联储应用的低温热化学气相沉积碳纳米管

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Multi Walls Nano Tubes (MWNT) distributed uniformly on catalyst metal coated silicon substrate have been synthesized by Thermal Chemical Vapour Deposition using C_2H_2 at 550℃. The growth and emission properties are studied as a function of the catalyst layer thickness. Large areas of nanotubes films exhibiting length up to 3 μm and diameter from 10 to 80 nm have been produced. Applications to field emission displays (FED) are demonstrated. Indeed integration of these tubes on triode structure has been done successfully. Peak current density up to 10mA/cm~2 has been measured with 120 V on the gate and 1000 V on the anode.
机译：通过在550℃下用C_2H_2进行热化学气相沉积合成了均匀分布在催化剂金属包覆的硅基底上的多壁纳米管（MWNT）。研究了生长和发射性能随催化剂层厚度的变化。已经生产出大面积的纳米管膜，其展现出高达3μm的长度和10至80nm的直径。演示了在场发射显示器（FED）中的应用。实际上，这些管在三极管结构上的集成已经成功完成。在栅极上为120 V，阳极上为1000 V时，测得的峰值电流密度高达10mA / cm〜2。

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