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Gas discharge lasers pumped by generators with inductive energy storage

机译：发电机泵浦的气体放电激光器具有感应能量存储

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Laser and discharge parameters in mixtures of rare gases with halogens driven by a pre-pulse-sustainer circuit technique are studied. Inductive energy storage with semiconductor opening switch was used for the high-voltage pre-pulse formation. It was shown that the pre-pulse with a high amplitude and short rise-time along with sharp increase of discharge current and uniform UV- and x-ray preionization allow to form long-lived stable discharge in halogen containing gas mixtures. Improve of both pulse duration and output energy was achieved for XeCl-, XeF- and KrF excimer lasers. Maximal laser output was as high as 1 J at intrinsic efficiency up to 4%. Increase of radiation power and laser pulse duration were obtained in N_2-NF_3 (SF_6) and He-F_2 (NF_3) gas mixtures, as well.
机译：研究了由预脉冲-维持电路技术驱动的稀有气体与卤素的混合物中的激光和放电参数。高电压预脉冲形成使用带有半导体断开开关的感应能量存储。结果表明，具有高振幅和短上升时间的预脉冲，加上放电电流的急剧增加以及均匀的紫外线和X射线预电离，可以在含卤素的气体混合物中形成长寿命的稳定放电。 XeCl-，XeF-和KrF准分子激光器的脉冲持续时间和输出能量均得到改善。最大激光输出在内部效率高达4％时高达1J。在N_2-NF_3（SF_6）和He-F_2（NF_3）混合气体中也获得了辐射功率和激光脉冲持续时间的增加。

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