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On-line Calibration of Phase-Shifter in Phase-Shifting Interferometer

机译：移相干涉仪中移相器的在线校准

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Phase-shifting interferometry (PSI) as a high accuracy measurement method is widely used in modern measurements. Accurate calibration of phase-shifter is very important if good measurement results are expected from PSI. A new method of on-line calibration for phase-shifter is presented. By constructing a mathematic model for intensity of interferogram associating with the phase-shifter's characters, the coefficients of the function can be solved by introducing Damped-Least-Square methods. Results of computer simulation show a high accuracy after several fast iterations. Experimental results are presented for on-line phase-shift calibration.
机译：相移干涉测量法（PSI）作为一种高精度测量方法，在现代测量中被广泛使用。如果期望PSI获得良好的测量结果，则移相器的准确校准非常重要。提出了一种新的移相器在线校准方法。通过建立与移相器特征相关的干涉图强度的数学模型，可以通过引入阻尼最小二乘法来求解函数的系数。经过几次快速迭代，计算机仿真结果显示出很高的准确性。给出了在线相移校准的实验结果。

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