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Apochromatic reflection optics used in UV interferometry

机译：紫外干涉仪中使用的复消色差反射光学器件

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Abstract: An interferometer for VUV wavelengths was realized in order to improve the resolution and the sensitivity of optical metrology. To be able to work at wavelengths 157 nm up to 900 nm an apochromatic design was chosen using reflective optics. For the examination of the influence of the wavelength binary gratings with different periods, aspect ratios and depths, have been selected as test structures. The benefits and also the technological problems which come along with the use of VUV wavelengths are discussed. The design of this interferometer and measuring results with different wavelengths are presented.!14
机译：摘要：为了提高光学计量学的分辨率和灵敏度，实现了一种用于VUV波长的干涉仪。为了能够在157 nm至900 nm的波长范围内工作，使用反射光学器件选择了复消色差设计。为了检查具有不同周期，纵横比和深度的波长二进制光栅的影响，已选择其作为测试结构。讨论了使用VUV波长带来的好处以及技术问题。介绍了该干涉仪的设计以及不同波长的测量结果。14

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