【24h】

Silica-based rib waveguides for integrated optics using multimode interference

机译:基于石英的肋式波导,用于使用多模干涉的集成光学器件

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摘要

Integrated optical waveguides, as well as splitters and switches utilizing the principle of multimode interference have been realized in PECVD SiON/SiO_2 technology. The waveguide design has been optimized to meet a number of requirements, such as small device size, polarization-independent operation, and low-power active operation. The design, fabrication, and initial experimental results for these devices are discussed.
机译:在PECVD SiON / SiO_2技术中,已经实现了集成的光波导以及利用多模干涉原理的分离器和开关。波导设计已经过优化,可以满足许多要求,例如较小的器件尺寸,与偏振无关的操作以及低功率有源操作。讨论了这些设备的设计,制造和初步实验结果。

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