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首页> 外文会议>International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia vol.2; 20051112-14; Shenzhen(CN) >Fast Positioning Technology of High Acceleration Stage
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Fast Positioning Technology of High Acceleration Stage

机译：高加速阶段的快速定位技术

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Profiting from its high stiffness and ratio of push to weight, the stage directly driven by linear motor can reach extremely high acceleration. However, because the stage doesn't have transmission parts, signals of the control system may excite high frequency vibrations in it directly, which limit the tuning range of controller's parameters, prolong the stage's settle time and influence its efficiency and positioning performance. This paper presents the stage's dynamic characteristics by modeling simulation and experimental modal analysis. According to the dynamic characteristics, a time delay filter is used in the controller, then the stage's vibrations are restrained and its settle time is reduced distinctly.
机译：得益于其高刚度和推重比，直线电机直接驱动的平台可以达到极高的加速度。但是，由于平台没有传输部件，控制系统的信号可能会直接在其中激发高频振动，从而限制了控制器参数的调整范围，延长了平台的稳定时间，并影响其效率和定位性能。本文通过建模仿真和实验模态分析，展示了舞台的动态特性。根据动态特性，在控制器中使用了延时滤波器，从而抑制了平台的振动，并显着减少了稳定时间。

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