【24h】

3D UNSTEADY NUMERICAL SIMULATION OF HEAT AND MASS TRANSFER DURING CZ CRYSTAL GROWTH

机译:CZ晶体生长过程中传热和传质的3D非稳态数值模拟

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摘要

We present a computational model of heat transfer, convection, and impurity transport in a Chochralski (CZ) silicon crystal growth system. The model is applied to an industrial CZ puller and verified using available experimental data. The effect of various growth parameters on the impurity transport and on heat transfer is considered by using 3D unsteady approach for the simulation of melt convection.
机译:我们提出了一种热交换,对流和Chochralski(CZ)硅晶体生长系统中杂质传输的计算模型。该模型应用于工业CZ拉拔器,并使用可用的实验数据进行了验证。通过使用3D非稳态方法模拟熔体对流,可以考虑各种生长参数对杂质迁移和传热的影响。

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