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【24h】

Noncontact measuring methods of optical surface roughness

机译:光学表面粗糙度的非接触式测量方法

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摘要

Abstract: This paper discusses some non-contact measuring methods of optical surface roughness. Three types of optical interference profilometers researched in China are mentioned. Some unique techniques used in them are introduced. The advantages and disadvantages of them for on-line measuring are discussed. !3
机译:摘要:本文讨论了光学表面粗糙度的一些非接触式测量方法。提到了在中国研究的三种类型的光学干涉轮廓仪。介绍了其中使用的一些独特技术。讨论了它们在在线测量中的优缺点。 !3

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