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Applications of sealed CO2 lasers for the microelectronics industry

机译：密封式二氧化碳激光器在微电子行业的应用

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Abstract: The advent of sealed CO$-2$/ lasers has significantlyincreased industrial laser applications during the last5 years. The main advantages of this type of laser arethe compact footprint, robust all-metal construction,no maintenance and low operating costs. Theapplications of sealed CO$-2$/ lasers in themicroelectronics industry can be broadly classifiedinto four major categories: Ceramic Processing forThick/Thin Films, Printed Circuit Boards and FlexCircuit Board Drilling and Routing, Solder Mask Cuttingfor SMT and Microwelding for the packaging industry.This paper summarizes potential applications for sealedCO$-2$/ lasers in the microelectronics industry.Detailed process capability with speeds and thicknesseswill be presented and comparisons will be made to otherlaser and conventional fabrication techniques.!3
机译：摘要：在过去的五年中，密封CO $ -2 $ /激光器的出现大大增加了工业激光器的应用。这种激光器的主要优点是占地面积小，坚固的全金属结构，无需维护和较低的运行成本。密封CO $ -2 $ /激光器在微电子行业中的应用可大致分为四大类：用于厚膜/薄膜的陶瓷加工，印刷电路板和FlexCircuitboard钻孔和打孔，用于SMT的阻焊层切割以及用于包装行业的微焊接。本文总结了密封CO $ -2 $ /激光器在微电子行业中的潜在应用，将给出详细的处理能力，速度和厚度，并与其他激光器和传统制造技术进行比较！3

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