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Laser diodes applications for contamination control in microelectronics fabrication processes

机译：激光二极管在微电子制造过程中用于污染控制的应用

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摘要

Abstract: The increasing complexity of semiconductor devices andcorresponding dimensions decreasing till the mostadvanced semiconductor chips manufactured in 0.35 $mu@mor 0.25 $mu@m need more cleanliness technologicalconditions. From this whole field the particles are noteven detected or detectable in today's fabs will becomekiller contaminants of future technology of 0.18 $mu@m.The particle must first be detected before they can beeradicated. For this reason the most recommendedinvestigation apparatus are optical particle countersand condensation nucleus counter for determining ofairborne particle concentration and as ultrapure waterchemicals, gases and vacuum particle counter. In thepaper I have analyzed the laser diode application aslight sources with the counting results sizing datageneration and performance parameters which shown thebenefits of their using. All the systems presented canbe used for monitoring of particle concentrations forultrapure fluids from microelectronics fab processesand can be recommended to all microelectronics fabs.!0
机译：【摘要】半导体器件的复杂性不断提高，尺寸相应减小，直到以0.35μm@mor0.25μm@m制造的最先进的半导体芯片需要更多的清洁技术条件。从整个领域来看，在当今的晶圆厂中甚至无法检测到或检测到的颗粒将成为未来技术的杀手级污染物，为0.18μm@​​ m。必须首先检测颗粒，然后将其根除。因此，最推荐的研究设备是光​​学粒子计数器和凝聚核计数器，用于确定空气中的粒子浓度以及超纯水化学，气体和真空粒子计数器。在本文中，我对作为光源的激光二极管应用进行了分析，并通过计数结果确定了数据生成和性能参数，这些数据显示了其使用的好处。所展示的所有系统均可用于监测微电子fab工艺中的超纯流体的颗粒浓度，并可推荐给所有微电子fab.0

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