Fraunhofer Institute for Production Technology IPT, Steinbachstr. 17, 52062 Aachen, Germany,+49 241 8904-100;
Ingeneric GmbH, Dennewartstr. 25 - 27, 52068 Aachen, Germany,+49 241963-1343;
Fraunhofer Institute for Production Technology IPT, Steinbachstr. 17, 52062 Aachen, Germany,+49 241 8904-100;
Fraunhofer Institute for Production Technology IPT, Steinbachstr. 17, 52062 Aachen, Germany,+49 241 8904-100;
Automated assembly; model-driven engineering; beam-shaping optical systems;
机译:光束整形光学器件在激光干涉光刻中用于晶片级纳米图案的应用
机译:使用光束整形光学在激光干扰光刻中的晶片缩放纳米透视仪
机译:通过可变形镜子的X射线束整形:使用物理光学的高斯光束的表面轮廓和点扩展功能计算
机译:基于X射线折射光学的光束整形元素:理论,建模和实验
机译:使用CAD装配中的预定义配合的自动化装配时间预测工具。
机译:通过可变形反射镜进行X射线束整形:使用物理光学对高斯束进行表面轮廓和点扩展函数计算
机译:用于相干X射线源的光束整形折射光学