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Study and realisation of a micromechanical relay for use in a harsh environment

机译：用于恶劣环境的微机械继电器的研究与实现

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A novel out-of-plane actuated microrelay designed in order to be used in a harsh environment is reported. This microrelay consists in an Al/SiO2 bimorph cantilever and a gold-to-gold electrical contact. This device switches through a combined electrostatic and thermal actuation. The manufacturing process allows the integration of these devices on standard IC (the Integrated circuit). An analytical model describing the combined electrical, thermal, and mechanical behavior of the cantilever beam is used to set appropriate geometrical parameters in order to improve reliability for use in a harsh environment. This paper presents the theory, the design, the fabrication process and the experimental results of this microrelay.
机译：报告了一种新颖的平面外致动微型继电器，其设计用于恶劣的环境。该微继电器由Al / SiO 2 双压电晶片悬臂和金-金电接触组成。该设备通过组合的静电和热激励进行切换。制造过程允许将这些设备集成到标准IC（集成电路）上。描述悬臂梁的综合电气，热学和机械性能的分析模型用于设置适当的几何参数，以提高在恶劣环境下使用的可靠性。本文介绍了该微型继电器的理论，设计，制造工艺和实验结果。

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