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【24h】

Microfabrication of electroplated integrated chromium tips onto a silicon actuator

机译：将电镀的集成铬尖端微加工到硅执行器上

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Electrodeposition has been claimed as an alternative and emerging technique devoted to the fabrication of tall microstructures. Various metals and alloys can be electroplated with micrometric dimensions and the lithography techniques allow the realizations of various patterns. We present a new process devoted to the microfabrication of a chromium tip from an electroplated microstructure. The aim of this work is the realization of a new scanning microscope to perform local thermal conductivity measurements of thin films.
机译：电沉积已被宣称是一种替代的新兴技术，专门用于制造高层微结构。可以用微米尺寸电镀各种金属和合金，并且光刻技术允许实现各种图案。我们提出了一种新的工艺，该工艺致力于从电镀的微结构中微细加工铬尖端。这项工作的目的是实现一种新型扫描显微镜，以执行薄膜的局部热导率测量。

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