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Development of an RF plasma source using helicon waves for the study of plasma-material interactions in fusion machines

机译：利用螺旋波开发射频等离子体源，用于研究聚变机中的等离子体与材料的相互作用

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A plasma source using a Nagoya type III antenna surrounding a 30-cm-long glass tube attached to a 1.5-m-long cylindrical chamber to excite helicon waves has been developed. The plasma is confined by an axial magnetic field in the range of 0.2-1 kG generated by a pair of Helmholtz coils located at both ends of the chamber. A plasma density of about 10/sup 12/ cm/sup -3/ is obtained with an electron temperature of about 10 eV. The chemical sputtering of graphite by an oxygen plasma was studied using this plasma source.

机译：已经开发出一种使用名古屋III型天线的等离子体源，该天线围绕着一个30厘米长的玻璃管，该玻璃管连接到一个1.5米长的圆柱腔上，以激发螺旋波。等离子体受到位于腔室两端的一对亥姆霍兹线圈产生的0.2-1 kG范围内的轴向磁场的限制。在约10eV的电子温度下获得约10 / sup 12 / cm / sup -3 /的等离子体密度。使用该等离子体源研究了氧等离子体对石墨的化学溅射。

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来源
《》|1990年||共1页
会议地点
作者
Ra; Y.; Schmitz; L.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
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