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Modeling and Co-Simulation of Integrated Microand Nanosystems

机译:集成的微米和纳米系统的建模和协同仿真

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摘要

In this paper we present a system-level, top-down design/modeling methods for microsystem (MEMS) devices. We describe advanced process co-simulation/emulation of MEMS and integrated circuits. The methodology of Hardware-In-The-Loop basing on co-simulation of MEMS and IC using signal flow simulators is also discussed.
机译:在本文中,我们介绍了用于微系统(MEMS)器件的系统级,自顶向下的设计/建模方法。我们描述了MEMS和集成电路的高级过程协同仿真/仿真。还讨论了使用信号流模拟器对MEMS和IC进行协同仿真的硬件在环方法。

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