机译:有效的铜表面预处理,用于具有高耐等离子体性的超低介电常数(k = 2.2)的高可靠性22 nm节点铜双镶嵌互连
机译:具有低k有机膜的铜双大马士革互连的通孔形状控制
机译:具有原位蚀刻表面修饰的等离子蚀刻技术,可实现高度可靠的低k / Cu双镶嵌互连
机译:铜单和双镶嵌,氧化物和低k电介质互连中的等离子体充电损伤问题
机译:双镶嵌铜与低k聚合物电介质互连。
机译:铜低k互连中随时间变化的介电击穿:机理和可靠性模型
机译:过渡到Cu,镶嵌和低k电介质用于集成电路互连,对工业的影响。