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Multifunctional smart tactile-image sensor with integrated arrays of strain and temperature sensors on single air-pressurized silicon diaphragm

机译：多功能智能触觉图像传感器，在单个气压硅膜片上集成了应变和温度传感器的集成阵列

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In this paper, a multifunctional smart tactile-image sensor which can detect distribution of plural physical values like a human's fingertip is presented. An air-pressurized single silicon membrane is used as soft mechanical structure, and sensor arrays of strain and temperature sensors are integrated on it. Distributions of contact-force, vibration, and object temperature can be detected with piezoresistor and temperature sensor in each pixel. Array driver and output circuit are monolithically integrated around the sensing diaphragm. The fabricated device showed vibration detection ability with about 2 kHz bandwidth. Also, contact-force distribution was obtained with its temperature distribution at the same time. This technology is very promising to realize high performance tactile-image sensor like sensitive human fingertips.

机译：在本文中，提出了一种多功能智能触觉图像传感器，其可以检测像人的指尖一样的多个物理值分布。空气加压的单硅膜用作软机械结构，传感器阵列和温度传感器集成在其上。可以在每个像素中使用压阻器和温度传感器检测接触力，振动和物体温度的分布。阵列驱动器和输出电路围绕感应隔膜整合。制造的装置显示出约2 kHz带宽的振动检测能力。此外，通过其温度分布同时获得接触力分布。这种技术非常有希望实现高性能触觉图像传感器，如敏感的人体指尖。

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来源
《》|2005年|P.45-48|共4页
会议地点
作者
Takao; H.; Sawada; K.; Ishida; M.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类工业技术;
关键词
diaphragms; driver circuits; intelligent sensors; membranes; piezoresistive devices; silicon; strain sensors; tactile sensors; temperature sensors; array driver; contact force; human fingertip; integrated arrays; multifunctional smart sensor; object temperature; output;

机译：膜片;驱动电路;智能传感器;膜;压阻装置;硅;应变传感器;触觉传感器;温度传感器;阵列驱动器;接触力;人的指尖;集成阵列;多功能智能传感器;物体温度;输出;

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