Pattern Density Effects of FA vs Slurry

机译：FA与浆料的图案密度效应

获取原文

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

The purpose of this work is to demonstrate methods of characterizing and comparing STI polishes using fixed-abrasive(FA) and slurry based technologies. Comparisons of macro(>500μm) structures to typical device structures are provided, detailing the contributions of structures to the final planarity obtained following stripping nitride. Emphasis is placed upon methods of characterization and how they can be applied to new polishing techniques.

机译：这项工作的目的是演示使用固定磨料（FA）和基于浆料的技术表征和比较STI抛光的方法。提供了宏（>500μm）结构与典型器件结构的比较，详细介绍了结构对剥离氮化物后获得的最终平面度的贡献。重点放在表征方法及其如何应用于新的抛光技术上。

著录项

来源
《International VLSI multilevel interconnection conference;VMIC》|2000年|p.331-338|共8页
会议地点
作者
Bill Koutny;
展开▼
作者单位

展开▼
会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. The optimization of FA/O barrier slurry with respect to removal rate selectivity on patterned Cu wafers [J] . Hu Yi, Li Yan, Liu Yuling, Journal of Semiconductors . 2016,第2期

机译：关于FA / O阻挡层浆料对图案化Cu晶片去除速率选择性的优化
2. Investigating the Planarization Behavior of High Selective Slurry with Initial Step Height and Pattern Density [J] . Pyo SG, Kim M, Kim H, Electrochemical and solid-state letters . 2009,第7期

机译：研究具有初始台阶高度和图案密度的高选择性浆料的平面化行为
3. Contrasting patterns of density‐dependent selection at different life stages can create more than one fast–slow axis of life‐history variation [J] . Jonathan Wright, Erik Blystad Solbu, Steinar Engen Ecology and Evolution . 2020,第6期

机译：不同寿命的密度依赖性选择的对比模式可以产生多于一个快速慢速历史变化的轴
4. Numerical simulation of ice slurry patterns with phase interactions effects inside different channels structures of plate heat exchangers [C] . Shaimaa HEFNY, Christiane THOMAS, Ullrich HESSE Japan Society of Refrigerationg and Air Conditioning Engineers;IIR Gustav-Lorentzen Conference on Natural Fluids . -1

机译：不同通道结构内部相互作用效应的冰泥浆图案的数值模拟
5. Effects of White-Tailed Deer Density on Antler Growth and Buck Movement Patterns [D] . Rothstein, Ryan Michael 2018

机译：白尾鹿密度对鹿角生长和巴克运动方式的影响
6. Contrasting patterns of density‐dependent selection at different life stages can create more than one fast–slow axis of life‐history variation [O] . Jonathan Wright, Erik Blystad Solbu, Steinar Engen 2020

机译：在不同生命阶段与密度相关的选择的对比模式可能会产生多个生命历史变异的快慢轴
7. Prarancangan Pabrik High Density Polyethylene (HDPE) Proses Philips Loop Reaktor Fase Slurry Kapasitas 125.000 ton/tahun [O] . Lastri Lastri 2007

机译：高密度聚乙烯（HDPE）工艺飞利浦回路淤浆相反应器产能为125,000吨/年的初步设计
8. Grafting-Density Effects, Optoelectrical Properties and Nano-Patterning of Poly(para-Phenylene) Brushes. [R] . Chen, J., Alonzo, J., Yu, X., 2013

机译：聚（对亚苯基）刷的接枝密度效应，光电性能和纳米图形化。

Pattern Density Effects of FA vs Slurry

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅