Sophisticated light scattering techniques from the VUV to the IR regions

机译：从VUV到IR区域的复杂光散射技术

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Light scattering based characterization techniques are well suited to meet the challenging requirements for fast andsensitive finish assessment of optical surfaces. Further advantages are the high flexibility and robustness which enablethe inspection of large geometries and freeform optics that are sometimes too complex for characterization techniqueslike atomic force microscopy or white light interferometry.In this paper, we report on the development of instruments for total and angle resolved light scattering measurements atwavelengths ranging from the vacuum ultraviolet to the infrared spectral regions. Extremely high sensitivities equivalentto surface roughness levels of below 0.1 nm and dynamic ranges of up to 15 orders of magnitude have been achieved. Inaddition to laboratory-based equipment, compact and table-top tools are discussed which enable the advantages of lightscattering metrology to be used for characterization tasks close to or even in manufacturing processes. Instructiveexamples of applications are presented ranging from the characterization of diamond-turned and polished substrates tointerference coatings, diffraction gratings, and IR window materials.© (2012) COPYRIGHT Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). Downloading of the abstract is permitted for personal use only.

机译：基于光散射的表征技术非常适合满足光学表面的快速敏感性评估的具有挑战性要求。进一步的优点是高柔韧性和稳健性，它能够检查大型几何和自由形式光学器件，其有时对于表征技术的原子力显微镜或白光干扰测量。本文报告了总和角度消声光的仪器的开发散射测量从真空紫外线到红外光谱区域的测量结果。极高的敏感度相当于低于0.1nm的表面粗糙度水平，并且已经实现了高达15个数量级的动态范围。讨论了基于实验室的设备，紧凑型和桌面工具的侵入性，这使得光散射计量的优点是用于靠近或甚至在制造过程中的表征任务。从菱形和抛光基板的表征提供了应用的应用程序，衍射涂层，衍射光栅和红外窗材料。©（2012）照片光学仪表工程师（SPIE）的版权协会。仅供个人使用的摘要下载。

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来源
《Conference on reflection, scattering, and diffraction from surfaces》|2012年||共9页
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作者
Sven Schr?der; Marcus Trost; Tobias Herffurth; Alexander von Finck; Angela Duparré;
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正文语种
中图分类光学;
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