Fabricating fresnel mirrors imaged in visible light region by ultra precision manufacturing technology

机译：通过超精密制造技术制造在可见光区域成像的菲涅耳镜

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Fresnel mirror can greatly improve the compactness of imaging system, which has many advantages such as light, thin, and easy to integrate. Due to the limitations of the shape precision and the surface roughness by available fabrication technology, most Fresnel mirrors can only be used for illuminating and focusing areas. This paper presents a Fresnel mirrors ultra precision forming method, which can turn the Fresnel mirrors with an excellent imaging performance in visible light region. The surface roughness of the Fresnel mirror can be achieved as small as 1 nm, and the surface accuracy can be up to 0.23 lambda @ 632.8 nm after removing the spherical aberration, which make this kind of Fresnel mirror extremely promising for applications in ultrathin and light optical imaging system.

机译：菲涅耳镜可以大大提高成像系统的紧凑性，具有轻巧，薄，易于集成等诸多优点。由于可用的制造技术对形状精度和表面粗糙度的限制，大多数菲涅耳镜只能用于照明和聚焦区域。本文提出了一种菲涅尔镜超精密成形方法，该方法可以使菲涅耳镜在可见光区域具有出色的成像性能。菲涅耳镜的表面粗糙度可以低至1 nm，并且去除球面像差后的表面精度在632.8 nm时可以达到0.23λ@，这使得这种菲涅耳镜极有希望用于超薄和轻型应用光学成像系统。

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来源
《IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale》|2016年|43-46|共4页
会议地点
作者
Weiguo Zhang; Fenglei Liu; Guodong Zhu; Deqiang Wang; Xin Xiong; Chunlei Du;
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正文语种
中图分类
关键词
Mirrors; Machining; Rough surfaces; Surface roughness; Imaging; Substrates; Shape;

机译：镜子;机械加工;粗糙表面;表面粗糙度;成像;基材;形状;

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