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Testing Micro Optics with Micro Optics

机译：用微光学测试微光学

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An increasing part of the optic industry's added value consists of micro optical components. This increases the demand for effective test methods for micro optics. When conventional test methods are transferred to micro optics, special attention should to be paid to diffraction effects, wave front propagation and precise sample imaging. We show how a well-established tool - the Shack-Hartmann wave front sensor (SHWFS) - which uses a micro lens array as a key element, can be used for testing micro lenses. Different measurement configurations for transmitted light and reflected light testing are discussed. A system which takes advantage of a combination of these test configurations to retrieve information on surface quality, wave front performance, focal length, and defects is presented. Measurement results are shown to demonstrate the system performance.
机译：光学工业增加值中越来越多的部分由微光学组件组成。这增加了对微光学器件有效测试方法的需求。当将常规测试方法转移到微光学器件时，应特别注意衍射效应，波前传播和精确的样品成像。我们展示了如何使用微透镜阵列作为关键元件的完善工具-Shack-Hartmann波前传感器（SHWFS）可以用于测试微透镜。讨论了透射光和反射光测试的不同测量配置。提出了一种利用这些测试配置的组合来检索有关表面质量，波阵面性能，焦距和缺陷的信息的系统。显示测量结果以证明系统性能。

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