A 3600 × 3600 large-scale ISFET sensor array for high-throughput pH sensing

机译：用于高通量pH传感的3600×3600大规模ISFET传感器阵列

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This paper presents a large-scale ion-sensitive field effect transistor (ISFET) array chip for pH sensing. A 3600 × 3600-pixel ISFET sensor array and corresponding readout circuitry are designed and fabricated using a conventional 0.18-μm CMOS process flow. High-throughput pH sensing is achieved with real-time data acquisition of 26 frame per second. A pH sensitivity of 73.56 mV/pH is achieved owing to the in-pixel amplification. This high-density, CMOS compatible and cost efficient ISFET array chip has great potential to be used in applications such as semiconductor DNA detection and sequencing.

机译：本文提出了一种用于pH传感的大规模离子敏感场效应晶体管（ISFET）阵列芯片。使用常规的0.18μmCMOS工艺流程设计和制造3600×3600像素ISFET传感器阵列和相应的读出电路。通过每秒26帧的实时数据采集可实现高通量pH传感。由于像素内放大，因此可实现73.56 mV / pH的pH灵敏度。这种高密度，兼容CMOS且具有成本效益的ISFET阵列芯片具有巨大的潜力，可用于诸如半导体DNA检测和测序之类的应用中。

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来源
《IEEE International Conference on ASIC》|2017年|957-960|共4页
会议地点
作者
Yongxin Cong; Ming Xu; Dan Zhao; Dongping Wu;
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中图分类
关键词
Sensor arrays; Sensitivity; Sequential analysis; Logic gates; DNA;

机译：传感器阵列灵敏度顺序分析逻辑门DNA;

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