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首页> 外文会议>Fifth international symposium on instrumentation science and technology >A Diffraction Grating Scale for Long Range and Nanometer Resolution
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A Diffraction Grating Scale for Long Range and Nanometer Resolution

机译：远距离和纳米分辨率的衍射光栅尺

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This paper presents a novel design of a laser linear encoder based on the principle of diffractive interferometry. It adopts a special design in optical path that can increase the alignment tolerance between the optical head and the grating. Because of the simple optical configuration and the merit of compact size, it can effectively reduce the environmental disturbance and allow higher stability. In addition, the signal process circuit can effectively decrease three major errors: the DC shift difference, the electronic gain difference and the phase orthogonal error of two sinusoid al output signals. The resolution can reach to lnm. Experiment results showed the standard deviation was below 17nm for 15mm travel in normal laboratory environment.
机译：本文提出了一种基于衍射干涉测量原理的激光线性编码器的新颖设计。它在光路上采用了特殊的设计，可以增加光学头与光栅之间的对准公差。由于简单的光学配置和紧凑尺寸的优点，它可以有效地减少环境干扰并具有更高的稳定性。另外，信号处理电路可以有效地减小三个主要误差：两个正弦波输出信号的直流偏移差，电子增益差和相位正交误差。分辨率可以达到1nm。实验结果表明，在正常实验室环境中，对于15mm行程，标准偏差低于17nm。

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