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首页> 外文会议>Proceedings of the 2010 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems >A microelectromechanical digital-to-analog converter for generating step-motion of reference mirror in a white-light interferometry system
【24h】

A microelectromechanical digital-to-analog converter for generating step-motion of reference mirror in a white-light interferometry system

机译：一种微机电数模转换器，用于在白光干涉测量系统中生成参考镜的步进运动

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In this work, we develop a microelectromechanical digital-to-analog converter (MEM-DAC) device which serves as a reference mirror with precise nanoscale step motion for a white-light interferometry system. The proposed mechanism converts a 4-bit digital signal to a mechanical out-of-plane displacement that is proportional to the analog value represented by the 4-bit binary code. A fabrication process which can realize a relatively large movable mirror without etching holes is proposed. Measured results are also presented.
机译：在这项工作中，我们开发了一种微机电数模转换器（MEM-DAC）器件，该器件可用作白光干涉测量系统的具有精确纳米级步进运动的参考镜。所提出的机制将4位数字信号转换为与4位二进制代码表示的模拟值成比例的机械面外位移。提出了一种可以在没有蚀刻孔的情况下实现相对较大的可移动镜的制造工艺。还提供了测量结果。

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