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【24h】

CuAlS_2:Mn蛍光体薄膜を用いた電流注入型EL素子 : ITO, ZnO, ZnS上に作製した薄膜ならびにEL素子特性

机译:Cuals_2:使用Mn磷光膜的电流注入型EL元件:在ITO,ZnO,ZnS上产生的薄膜和EL元件特性

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摘要

概要合成石英ガラス基板およびITO膜,ZnO膜,ZnS膜付きガラス基板上に電子線蒸着法によりCuAlS_2:Mn蛍 光体薄膜を作製した。ZnS膜上に作製した薄膜は、下地のZnSが成膜中にS補償として働いたことにより結晶性が 向上し、PL強度が増加した。一方、ITO膜やZnO膜上に作製した薄膜は、接合界面で相互拡散が発生しているた め、PL発光強度が低下した。これらの成果はへテロ接合電流注入型EL素子の構造を考える際に重要な指針となる。
机译:通过电子束蒸发方法通过电子束沉积方法通过电子束沉积方法产生具有ZnS膜的综合玻璃基板和ITO薄膜,ZnO膜和玻璃基板,以产生Cuals_2:Mn磷光体薄膜。在ZnS膜上产生的薄膜中,通过基部ZnS改善的结晶度在成膜期间补偿,并且PL强度增加。另一方面,在ITO膜或ZnO膜上产生的薄膜在粘合界面处具有相互扩散,并且PL发射强度降低。这些结果是考虑到恐怖键合电流注射型EL元件的结构时的重要指导。

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