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Sensitivity Study of Transverse Translation Diverse Phase Retrieval for Freeform Metrology

机译：自由形式计量学横向平移多相检索的敏感性研究

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Transverse translation-diverse phase retrieval (TTDPR), a ptychographic wavefront-sensing technique, is a viable method for optical surface metrology due to its relatively simple hardware requirements, flexibility, and high demonstrated accuracy in other fields. In TTDPR, a subaperture illumination pattern is scanned across an optic under test, and the reflected intensity is gathered on an array detector near focus. A nonlinear optimization algorithm is used to reconstruct the wavefront aberration at the test surface, from which we can solve for surface error, using intensity patterns from multiple scan positions. TTDPR. is an advantageous method for aspheric and freeform metrology, because measurements can be performed without null optics. We report on a sensitivity analysis of TTDPR using simulations of a freeform concave mirror measurement. Simulations were performed to test TTDPR algorithmic performance as a function of various parameters, including detector SNR and position uncertainty of the illumination.
机译：横向平移-不同相位检索（TTDPR）是一种谱图波前传感技术，由于其相对简单的硬件要求，灵活性和在其他领域的较高准确性，是一种可行的光学表面计量方法。在TTDPR中，通过测试中的光学器件扫描亚孔径照明图案，然后将反射强度聚集在靠近焦点的阵列检测器上。非线性优化算法用于重建测试表面的波前像差，我们可以使用多个扫描位置的强度模式从中解决表面误差。 TTDPR。这是用于非球面和自由形式计量的一种有利方法，因为可以在没有零光学元件的情况下执行测量。我们报告了使用自由曲面凹面镜测量的模拟对TTDPR进行的灵敏度分析。进行了仿真以测试TTDPR算法性能与各种参数的关系，其中包括检测器SNR和照明位置不确定性。

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