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両極性型プラズマイオン注入法におけるパルスマグネトロンチタンスパッタプラズマの発光分光特性

机译：双极等离子体离子注入法中脉冲磁控钛溅射等离子体的发射光谱特性

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両極性型PBII&Dにマグネトロンスパッタ源を挿入すると、コレクタ電極へ印加する高電圧正極性パルスで金属プラズマが生成されることが明らかになった。

机译：揭示了当将磁控溅射源插入双极PBII和D中时，通过施加到集电极的高压正脉冲产生金属等离子体。

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来源
《プラズマ研究会;放電研究会;パルスパワー研究会》|2015年|57-61|共5页
会议地点
作者
東　欣吾; 中尾節男; 園田　勉; 楠森　毅; 尾崎公洋; 木村高志;
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作者单位

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正文语种
中图分类
关键词
パルススパッタプラズマ; マグネトロン放電; HPPMS/HiPIMS; PBII/PIII; チタンターゲット電極; プラズマイオンプロセス;

机译：脉冲溅射等离子体;磁控管放电; HPPMS / HiPIMS; PBII / PIII;钛靶电极;等离子工艺;

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